스퍼터 장치
메이커 캐논 아넬바
모델 E-401S
연식 2008年10月
외부 치수 1500x2200x2050
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70635
기계 사양
4인치 x5매 트레이 사양 카세트 5단
스퍼터 다운 방식
자동 성막 최대 φ220mm
정지 대향 성막 최대 φ100mm
φ4형 마그넷 캐소드 4기 탑재
RF2원 동시 스퍼터링 가능
기판-전극간 거리 변경 가능(모터 구동)
기판 가열 최고 온도 300°
3φ200V±10% 100A 50/60Hz
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