건식 에칭 장치(고밀도)
메이커 파나소닉
모델 E628I
연식 2007
외부 치수 1000x2400x1900
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70770
기계 사양
매엽식 2 카세트 연속 처리 6 인치 사양
챔버 외부 치수 360x360x148(mm)
플라즈마 방식 멀티 스파이럴 코일 ICP
RF 전원 13.56MHz 1250W
상부 전극 석영 천판(φ348)
상부 전극 가열 50~100℃
전극간 거리 122mm 3φ200V 75A
【사용 가스】C4F8 100sccm
CF4 200sccm SF6 100sccm
Ar 400sccm O2 200sccm
N2 20sccm He 50sccm
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