CVD 장치
메이커 삼코
모델 PD-270STL
연식 2006
외부 치수 1210x2730x2100
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70771
기계 사양
적용 기판：최대φ4x3장 처리
반응 내경:φ425mm H200mm
전극 구조: 무차폐형 평행 평판 전극
가열 기구:항온 서큘레이터 방식
사용온도：25～200℃
고주파 전원: 13.56MHz Max.1KW
액체 소스 탱크 온도 제어 범위: 60~85℃
배관 가열 온도 제어 범위: 35~80℃
TEOS 탱크 수용량: 2L
3φ AC200V 125A 50Hz
사용가스【C2F6 O2 TEOS】
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