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건식 에칭 장치(고밀도) NG

메이커 파나소닉

모델 E626I MK-6

연식 2005

외부 치수 1000x2400x1900

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 L70772

기계 사양

매엽식 2 카세트 연속 처리 6 인치 사양

챔버 외부 치수 360x360x148(mm)

플라즈마 방식 멀티 스파이럴 코일 ICP RF 전원 13.56MHz 1250W

상부 전극 석영 천판(φ348)

상부 전극 가열 50~100℃

전극간 거리 122mm 3φ200V 75A

【사용 가스】

SF6 300sccm O2 200sccm

He 2000sccm C4F6 300sccm

N2 20sccm He 50sccm

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