CVD 장치
메이커 삼코
모델 PD-200STN
연식 2003年
외부 치수 1370x1800x2000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70773
기계 사양
적용 기판：최대φ6x1장 처리
전극 구조: 무차폐형 평행 평판 전극
가열 기구:저항 가열 방식
상부 Max.400℃ 상용 300℃ 이하
하부 Max.400℃ 상용 350℃ 이하
고주파 전원: 13.56MHz Max.500W
액체 소스 탱크 온도 제어 범위: 60~85℃
배관 가열 온도 제어 범위: 35~80℃
TEOS 탱크 용량 2L 3φ AC200V
사용 가스【CF4O2 N2】
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