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에칭 장치(고밀도)

메이커 아넬바

모델 L-101D-DFR

연식 2005

외부 치수 2200x1200x1500

전시장 규슈 테크니컬 센터

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문의 번호 L70774

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기계 사양

3φ200V 50HZ 150A

사용가스 C4F8 Ar O2 N2 He

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