건식 에칭 장치
메이커 알백
모델 RH-3030P
연식 1992
외부 치수 1700x1550x2000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70775
기계 사양
재질 세라믹
기판 전극 크기
에칭 전극 500Lx500W(mm)
대향 전극 500Lx500W
에디션 조건 평행 평판형 방식(페이스 업)
기판간 거리 30~80mm
전원 3KW(1356MHz)
가열기구 RF 전극 5~45℃
3φ 200V 50Hz
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