스퍼터 장치
메이커 캐논 아넬바
모델 E-402S
연식 2008
외부 치수 2150x2250x2200
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70777
기계 사양
작업: Φ8in, Φ6in 웨이퍼
장치 구성：LL실→Traverser실→좌우에 SP1실, SP2실
스퍼터실：W580xL980xH305mm(외치수)
스퍼터업 방식
캐소드 φ317mm 비자성 재료용 RMC SP실에 각 1기
타겟 치수 약 φ310x5t
홀더 모양
φ370mm 열전도용 가스 기구 부착 가열 홀더, 역 스퍼터 가능
상하 스트로크 약 200mm
전극간 거리 약 50mm~250mm
스퍼터 전원
DC 전원 3.0Kw RF 전원 5.0Kw 600W
3φ200V 50/60Hz 150A
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