터보 분자 펌프
메이커 시마즈 제작소
모델 TMP-1103LMP
연식 2007年
외부 치수 300×300×320
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70798
기계 사양
흡기구: VG200 배기구: NW40
냉각법：수냉식 도달압력：10-9Pa
배기 속도: N2 1080L/min
회전수: 36000rpm
시작 시간: 5분 이내
설치 방위：전방향
펌프 흡기 베이킹 온도: 120°C 이하
허용 주위 온도：0～40℃
냉각수 수량: 1~3L/min
수온：5～30℃
흡기 플랜지부 부착물 있음
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
