플라즈마 처리 장치
메이커 에스크래프트
모델 WLP600S
연식 2010.8
외부 치수 W600 D1600 H1850
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70822
기계 사양
1/4 본체 대응 웨이퍼：6・8 인치 겸용 RF 전원(AX-600Ⅲ) 최대 출력 600w 실리콘 러버 히터：1500w 전원：3상 200V /8VCR 배기덕트Φ100 2/4 드라이펌프(SDE303A) 배기능력 5000L/min 흡기구NW50 냉각수 Rc3/8 열배기Φ50 4/4PC
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