스퍼터 장치
메이커 아넬바
모델 L-501S-FHL
연식 2004年2月
외부 치수 3900x1800x2600
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 L70849
기계 사양
스퍼터업 방식 φ6인치
SP1실 φ500mm
캐소드 φ317mmPMC
홀더 형상 φ290mm 가열 냉수 홀더
수납 기판 φ150 기판 트레이 1장
스트로크 약 100mm
전극간 거리 약 50mm~150mm
SP2실 φ500mm
캐소드 TGT1 및 TGT2 φ100mmPMC
음극 설치 위치 PCD260mm
타겟 치수 비자성재 φ101.6x5t(2기)
TGT3 φ100mmRMC
캐소드 설치 위치 PCD200mm
타겟 치수 Ni 자성재 φ110x4t(1기)
홀더 형상 φ290mm 가열 냉수 홀더
수납 기판 φ150 기판 트레이 1장
스트로크 약 300mm
전극간 거리 약 100mm~400mm
RF 전원 5KW(SP1실)
첨부파일
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