스핀 세척 장치
메이커 소프 엔지니어링
모델 GPC-7000M-18
연식 2017
외부 치수 W1850D1700H1000
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 LB0686
기계 사양
기판 재질 석영 기판·청색 기판
크기 24x26인치(609.6x660.4mm) 각 기판
25x26인치(635x660.4mm) 각 기판
두께 4.6t~5.0t 중량 MAX6Kg
모터 회전수 50~1500rpm
챔버 사이즈 φ1000(이너 유효)
세정액 약 알칼리계 또는 UPW
3φ 200V 50/60HZ 125A
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