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스핀 세척 장치

메이커 소프 엔지니어링

모델 GPC-7000M-19

연식 2017

외부 치수 W1850D1700H1000

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 LB0687

기계 사양

기판 재질 석영 기판·청색 기판

크기 24x26 인치 (609.6x660.4mm) 각 기판

25x26 인치 (635x660.4mm) 각 기판

두께 4.6t~5.0t 중량 MAX6Kg

모터 회전수 50~1500rpm

챔버 사이즈 φ1000(이너 유효)

세정액 약 알칼리계 또는 UPW

3φ 200V 50/60HZ 125A

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