진공 증착 장치
메이커 옵트란
모델 OTFC-1300DBI
연식 2006
외부 치수 W4325 D4610 H2910mm
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 M10330
기계 사양
진공 챔버: SUS304 Φ1300×H1610㎜
기판 돔:Φ1150㎜
광학 막 두께 제어: HOM2-R-VIS350A 광학 모니터
반사식/투과식
・수정식 막후계：XTC/2+6점 로터리 센서
・증착원: 전자총 1기, 저항 가열 1기
이온 소스: 17cmRF 이온 소스
배기계 : 아라비키 펌프 + 확산 펌프 2기와 폴리콜드
기판 가열 온도: Max350℃
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