애싱 장치 NG
메이커 도쿄 응화
모델 OPM-A1250A
연식 1985
외부 치수 700x1300x1700
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 M20435
기계 사양
웨이퍼 크기: Φ5in
고주파 전원 : 13.56MHz / 1000W 수정 발진
챔버 크기:φ300x500L
3φ200V 1φ200V 1φ100V
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