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터보 분자 펌프

메이커 시마즈 제작소

모델 TMP-803LM

연식 2004

외부 치수

전시장 쓰루 테크니컬 센터

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문의 번호 M40349

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기계 사양

흡기구측 플랜지 ISO160 배기구측 플랜지 KF40 수냉 규정 회전수 35000 rpm

외형 ISO 225mm 질량 31kg

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