단차·막 두께 측정 장치
메이커 KLA 텐콜
모델 AS-500(Alpha-Step 500)
연식 1997
외부 치수 W490 D790 H670
전시장 기타
가격 가격 문의
문의 번호 M40643
기계 사양
전원: 90~110V, 50/60Hz, 측정: 촉침식, 수직 방향 분해능: 1Å/±6.5μm, 측정 범위: 25Å/±150μm, 조작 거리: 10mm, 조작 속도: 2~200μm/초, 앰프 사이즈 /액세스 범위: 최대 162mmΦ, 카메라: 70~210배
※요수리 개소 있음
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