기계 사양
4인치 캐소드 3원 스퍼터 DOWN
DC 전원：MDX-052/MDX-5K (5Kw) 1대
크라이오 펌프: U-10PU/C30
φ350㎜ 반송 트레이
적외선 램프 가열
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기계 사양
4인치 캐소드 3원 스퍼터 DOWN
DC 전원：MDX-052/MDX-5K (5Kw) 1대
크라이오 펌프: U-10PU/C30
φ350㎜ 반송 트레이
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