프로버
메이커 도쿄 정밀(TSK)
모델 UF200
연식 2001.2
외부 치수 W1150 D1130 H1740
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 M40975
기계 사양
대응 웨이퍼: 5, 6, 8인치
XY축: 프로빙 영역 ±120mm
최대 속도 200mm/s
Z축: 풀 스트로크 69mm
에어 공급: 0.4MPa 이상
진공: -53KPa 이상
전원: 200V 50/60Hz 1.5KVA
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