VUV 패터닝 장비

메이커 우시오 전기

모델 SUS740

연식

외부 치수

전시장 쓰루 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 M50420

기계 사양

파장 150~200nm 노광 영역 φ30mm

유틸리티 AC100V, N2:10NL/min

설치치수 W680＋113 D700

(전원 포함하지 않음)

전원 B0287 단상 AC100V 50/60Hz

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