기계 사양
배기 속도:60㎥/h(Nominal at50Hz)
도달 진공도 : 3.10x10-3mbar (closed gas ballast)
입력 전원: 3φAC220-415V 50Hz/3φAC220-480V 60Hz
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기계 사양
배기 속도:60㎥/h(Nominal at50Hz)
도달 진공도 : 3.10x10-3mbar (closed gas ballast)
입력 전원: 3φAC220-415V 50Hz/3φAC220-480V 60Hz
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