기계 사양
배기 속도 N2：35～67 l/s, H2：38～48 l/s
도달 진공도: <1.0×10-5 Pa
TMP 흡기구 ISO-K80 배기구 NW16
회전수:90000min(1500Hz)
연결 케이블 없음
무게: 3.9Kg
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기계 사양
배기 속도 N2：35～67 l/s, H2：38～48 l/s
도달 진공도: <1.0×10-5 Pa
TMP 흡기구 ISO-K80 배기구 NW16
회전수:90000min(1500Hz)
연결 케이블 없음
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