기계 사양
도달 압력: 5.0x10-4Pa 이하
챔버 치수( 약): W600 D400 H600
선반 3단
배기 시스템:
・오사카 진공 터보 분자 펌프 TG900MCAB
・가루야마 드라이 펌프 NeoDry15E
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기계 사양
도달 압력: 5.0x10-4Pa 이하
챔버 치수( 약): W600 D400 H600
선반 3단
배기 시스템:
・오사카 진공 터보 분자 펌프 TG900MCAB
・가루야마 드라이 펌프 NeoDry15E
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