웨이퍼 표면 검사 장치
메이커 타카노
모델 WM-10
연식 2019
외부 치수 W1272 D1213 H1650
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 MA0110
기계 사양
특징: 고출력 Violet-LD 채용, 최고 검출 감도 48nm
90~65nm 프로세스 노드 양산·시작에 최적
광원: VioletLD
검출/주사 방식: 산란광 검출/나선 주사 방식
산란광 검출/나선 주사 방식: Bare48nm/Film60nm
웨이퍼 사이즈:300/200mm 대응
입력 전원: 1φ200-240V 50/60Hz 30A
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