스퍼터 장치
메이커 Choshu 산업
모델 DSSC-IS1P3
연식 2013
외부 치수 W4000 D4000 H2530
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 MB0049
기계 사양
장치 구성:LL실1→SP실→LL실2
흐름방향： 좌승수
로드록실：최대 16장 워크 수납 가능. EV 메커니즘
기판 사이즈:500mm×500mm
목표 크기: 5in x 26in, depotup
스퍼터 전원: RF 전원 5kW NR5N-08
에칭 전원: RF 전원 3kW NR3N-04A
배기계：LL1(TMP+Dry), SP실(TMP+Dry), :LL2(TMP+Dry)
입력 전원: 3φAC200V
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