기계 사양
웨이퍼 반송부 CCD 카메라 부착 5 인치 사양
접안 렌즈:WHN10x/22
대물 렌즈: LM Plan IR x5/x10/x20/x50/x100
필터: U-25ND6/U-25L42/U-BP100IR/U-BP1200IR
입력 전원:AC100-120V/220-240V 50/60Hz
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기계 사양
웨이퍼 반송부 CCD 카메라 부착 5 인치 사양
접안 렌즈:WHN10x/22
대물 렌즈: LM Plan IR x5/x10/x20/x50/x100
필터: U-25ND6/U-25L42/U-BP100IR/U-BP1200IR
입력 전원:AC100-120V/220-240V 50/60Hz
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