기계 사양
접안 렌즈：SWH10X/26.5
대물 렌즈: UMPlan FI
×5, ×10, ×20, ×50, ×100
카메라: DP73
s/n：7G00973
웨이퍼 스테이지:φ8
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
기계 사양
접안 렌즈：SWH10X/26.5
대물 렌즈: UMPlan FI
×5, ×10, ×20, ×50, ×100
카메라: DP73
s/n：7G00973
웨이퍼 스테이지:φ8
첨부파일
※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.
