기계 사양
분석 가능 원소 Li에서 U까지
X선원 Mg/Al 특성 X선, AlKα 단색계 X선 분석 면적 마이크로 영역 15, 27, 55, 110μmφ
매크로 영역 2×0.8mm, 0.7×0.3mm
분석 깊이 수 나노미터
스테이지 X, Y, Z, θ, φ 5축 자동 스테이지
최대 시료 사이즈 100mm(X)×25mm(Y)×10mm(Z)
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