에칭 장치
메이커 삼코
모델 RIE-400iPB
연식 2009
외부 치수 W986 D1792 H1975
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 N11279
기계 사양
반응실 내경 φ320 φ37mm 뷰포트 부착(오른쪽에 1개) 고무 히터 부착
LL실 밖 치수 W 340mm D445 H144mm
ICP 유닛 2턴 코일 하부 전극 φ106mm(최대φ4인치 대응)
ICP 13.56MHz Max1KW BIAS 13.56MHz Max 300W
3φ200V 60Hz 60A 사용가스 CHF3 O2 Ar C4F8 SF6
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