기계 사양
캐소드：φ4 인치 x 3기
스퍼터 방식：고주파(RF)1.2kW / 직류(DC)2.5kW
기판 가열: Max250℃
입력 전원: 3φAC200V 50/60Hz 75A
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기계 사양
캐소드：φ4 인치 x 3기
스퍼터 방식：고주파(RF)1.2kW / 직류(DC)2.5kW
기판 가열: Max250℃
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