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플라즈마 세정 장치

메이커 신항정기

모델 E1112-C23

연식 2002

외부 치수

전시장 엔잔 테크니컬 센터

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문의 번호 N20561

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기계 사양

처리 모드: RIE/DP

유효 처리 면적:φ230mm

고주파 출력: 13.56MHz Max600W

입력 전원: 3φAC200V 50Hz/1φAC100V 50Hz

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