스퍼터 장치

메이커 시바우라 메카트로닉스

모델 CFS-4EP-LL

연식 2001

외부 치수W

전시장 규슈 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 N30392

기계 사양

처리량:φ200mm 이내(유효φ170mm)

타겟수：4in 캐소드×3기

T1(DC 전원 단독), T2(DC 전원 단독), T3(RF 전원 단독)

역 스퍼터 기구 있음

지그 가열: MAX300℃

입력 전원: 3φAC200V 8kVA

첨부파일

첨부 파일 확인

※ 아래 이미지를 클릭하면 확대됩니다.

별도 상품 문의

불필요한 장비, 기기, 기계의 매입 의뢰상담이 가능합니다.
장비, 기계, 유틸리티, 검사 장비 등 연구소와 공장에 있는 모든 항목이 해당 됩니다.

상품 구매 문의하기