기계 사양
처리량:φ200mm 이내(유효φ170mm)
타겟수：4in 캐소드×3기
T1(DC 전원 단독), T2(DC 전원 단독), T3(RF 전원 단독)
역 스퍼터 기구 있음
지그 가열: MAX300℃
입력 전원: 3φAC200V 8kVA
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기계 사양
처리량:φ200mm 이내(유효φ170mm)
타겟수：4in 캐소드×3기
T1(DC 전원 단독), T2(DC 전원 단독), T3(RF 전원 단독)
역 스퍼터 기구 있음
지그 가열: MAX300℃
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