기계 사양
전원: 1상 100V 50/60Hz
접안 렌즈: WH10x/22
대물 렌즈: UMPlunFI5x/10x/20x/50x/100x
스테이지(MSS-150A) 이동방향：XY축 2방향
이동량:XY축±75mm
포커스 컨트롤러(MSS-FC) 제어축수：1축
워크 사이즈：φ145mm
진공 펌프 (LV-125)
방진대(SG-150(특))：에어식 방진 고무
CCD 카메라(L-837)
첨부파일
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