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촉침식 단차막후계

메이커 KLA 텐코르

모델 Alpha-Step IQ

연식 2007

외부 치수 W430 D660 H290

전시장 엔잔 테크니컬 센터

가격 가격 문의

문의 번호 N31367

기계 사양

촉침식(스테이지 구동, 촉침 고정)

수직 방향 분해능/측정 범위 1Å/±6.5μm, 5Å/32μm, 25Å/±300μm

단차 측정 재현성 8Å(13μm 레인지)

주사 거리 최대 60mm

주사 속도 1μm/s-25mm/s

샘플링 속도 50,100,200,500,1000포인트/초

샘플 사이즈 최대 254mm

액세스 범위 최대 152mm

촬영 카메라 사이드뷰:95-410배, 톱뷰:115-465배

전원 단상 AC100-240V 50/60Hz1.35A

외부 치수 W430 D660 H290

*PC 세트 부속(기동 확인 OK)

DELL OPTIPLEX GX520

OS WindowsXP Pro 2002 SP2

CPU Pentium4 2.8GHz

메모리 1GB

HDD 80GB

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