스퍼터 장치
메이커 닛덴 아넬바
모델 SPF-430H
연식 1985
외부 치수 W1100 D940 H1800
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 N50463
기계 사양
SPF-400 자동 배기 장치에 F320 가열·수냉형 기판 홀더, 및 타겟 전극에 F4"플레이너 마그네트론 캐소드 3기를 조합한 스퍼터 장치.
기판 가열 최고 온도 300℃
전력 : 200V 3Ф 30A 50/60Hz
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