촉침식 단차막후계
메이커 KLA 텐코르
모델 Alpha-Step IQ
연식
외부 치수 W1100 D800 H1270
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 N50550
기계 사양
촉침식(스테이지 구동, 촉침 고정)
수직 방향 분해능/측정 범위 1Å/±6.5μm, 5Å/32μm, 25Å/±300μm
단차 측정 재현성 8Å(13μm 레인지)
주사 거리 최대 60mm
주사 속도 1μm/s-25mm/s
샘플링 속도 50,100,200,500,1000 포인트/초
샘플 사이즈 최대 254mm
액세스 범위 최대 152mm
촬영 카메라 사이드뷰：95-410배, 톱뷰：115-465배
전원 단상 AC100-240V 50/60Hz1.35A
외부 치수 W430 D660 H290
*PC 세트 부속(기동 확인 OK)
DELL OPTIPLEX GX360
OS WindowsXP Pro 2002 SP3
CPU DualCore E5300 2.6GHz
메모리 1GB HDD 80GB
*정밀 제진대(S table60C-110) 부속
첨부파일
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