기계 사양
접안 렌즈：MM6-OCC10x/22 MM6-OC10x/22
대물 렌즈: MPlan Aps SL50
MM6C-PS / MM6-LS22 부속
스테이지 스트로크: X=100 Y=50
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기계 사양
접안 렌즈：MM6-OCC10x/22 MM6-OC10x/22
대물 렌즈: MPlan Aps SL50
MM6C-PS / MM6-LS22 부속
스테이지 스트로크: X=100 Y=50
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