2차원 막 두께 분포 측정 장치
메이커 JFE 테크놀리서치
모델 FiDiCa（フィディカ）
연식 2016
외부 치수 W1590 D990 H1750
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 N70115
기계 사양
측정물: 반도체나 필름, 액막
시료 사이즈:A3(300mm×400mm)
막 두께 측정 범위: 100nm~150um
측정 분해능: 수 nm
측정 원리: 분광 간섭법, 1축 스캔
측정 시간: 약 90sec
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