김이 나는 장치
메이커 캐논 아넬바
모델 L-045E
연식 2010
외부 치수 W1100 D700 H1650
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 N80313
기계 사양
3인치 SI 웨이퍼 1장 수납 가능
최대 투입 전력: 10kW
도가니 11mL(φ29xφ24xD20)x6개
진공실 W400 H660(5각형)
3φ 200V 50/60Hz 60A
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