권취 스퍼터 장치
메이커 록기연
모델 RVS-W-510-A
연식 2011
외부 치수 W4750 D5900 H2700
전시장 규슈 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 N80462
기계 사양
권취부:폭 510mm, 두께:50μm~175μm
마그네트론 캐소드 3기(128mmx725mm각형)
스퍼터 전원 : 20Kw 2 식, 10Kw 1 식
성막 속도:200nm·m/min
가열 온도 : 200 ℃ 자석 : 400G
고주파 전원 : 0.75Kw
표적 분할 상자: 550mmx180mm
전처리실:550mmx72mm 타겟 기재 100mm
진공조내 치수:W1050xD1250xH1700
사용 가능한 코어 테이퍼 콘 3 인치 · 6 인치
3φ200V 50Hz 130Kw
사용 가스:Ar N2
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