기계 사양
배율：x5～x300,000
EDS 검출 가능 원소=Be~U
시료 이동 방식:5축(X,Y,Z,R,T)
시료 이동 범위:X=125mm/Y=100mm/Z=WD5~48mm(포커스 범위)/경사=-10°~90°/회전=360°
진공 펌프: G-100DB 2대
프린터: SPC250L
전원: AC100V 50/60Hz
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기계 사양
배율：x5～x300,000
EDS 검출 가능 원소=Be~U
시료 이동 방식:5축(X,Y,Z,R,T)
시료 이동 범위:X=125mm/Y=100mm/Z=WD5~48mm(포커스 범위)/경사=-10°~90°/회전=360°
진공 펌프: G-100DB 2대
프린터: SPC250L
전원: AC100V 50/60Hz
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