기계 사양
배율:x25~19000(LM 모드)/x100(WD25mm)~650000(WD8mm)(SEM 모드)
2차 전자상 분해능: 1.0nm(가속 전압 15kV)/2.2nm(가속 전압 1kV)
전원: 단상 AC200V 50/60Hz
부속 진공 펌프:G-100DC
부속 칠러:JKD-R1A1S
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기계 사양
배율:x25~19000(LM 모드)/x100(WD25mm)~650000(WD8mm)(SEM 모드)
2차 전자상 분해능: 1.0nm(가속 전압 15kV)/2.2nm(가속 전압 1kV)
전원: 단상 AC200V 50/60Hz
부속 진공 펌프:G-100DC
부속 칠러:JKD-R1A1S
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