기계 사양
마그네트론형 스퍼터 방식
타겟(표준)：φ57mm Pt 두께 0.1mm
시료대:φ64mm
전원: AC100V 50/60Hz
부속 진공 펌프:GHD-030
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기계 사양
마그네트론형 스퍼터 방식
타겟(표준)：φ57mm Pt 두께 0.1mm
시료대:φ64mm
전원: AC100V 50/60Hz
부속 진공 펌프:GHD-030
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