기계 사양
※세트 내용
· 이온 카운팅 RF 헤드 (HAL511S / 2)
· RF 전원 (MSIU / EQP)
· 터보 분자 펌프 (HIPACE80)
· 컨트롤러
・진공 게이지(IKR261)
· 컨트롤러
・PC 일식
(PC, 모니터, 키보드, 마우스)
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기계 사양
※세트 내용
· 이온 카운팅 RF 헤드 (HAL511S / 2)
· RF 전원 (MSIU / EQP)
· 터보 분자 펌프 (HIPACE80)
· 컨트롤러
・진공 게이지(IKR261)
· 컨트롤러
・PC 일식
(PC, 모니터, 키보드, 마우스)
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