박막 응력 측정 장치
메이커 히가시 토쿠 테크놀로지
모델 FLX-2320-S
연식 2011
외부 치수 W565 D450 H470
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC0202
기계 사양
본체만(레이저 활성화 키 없음)
기판 사이즈：3~8인치
온도 범위: 실온~500℃
승온 속도: 최대 25℃/min
측정 재현성: 1σ=1.3MPa
(두께 725㎛의 Si 기판 상 산화막 1㎛의 경우)
전원: 단상 200V 50/60Hz 15A
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