기계 사양
배기 속도: N2 51L/s
도달 압력: <3×10-6pa[1.5×10-8Torr]
회전 속도: 48000min-1
흡기구:VG65 배기구: 외경 φ20
컨트롤러(TC64) 부속
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기계 사양
배기 속도: N2 51L/s
도달 압력: <3×10-6pa[1.5×10-8Torr]
회전 속도: 48000min-1
흡기구:VG65 배기구: 외경 φ20
컨트롤러(TC64) 부속
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