스핀 코터
메이커 미카사
모델 MS-B200
연식 2020
외부 치수 W500 D583 H335
전시장 엔잔 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC0685
기계 사양
전원 AC100~240V 5A
최대 기판 사이즈 φ8인치 웨이퍼 또는 150×150mm 기판
회전수 20～5000rpm
스핀실 내경 φ360mm
100스텝×10패턴
다이어프램 펌프(DA-60S) 부속
SUS 탱크 2개 부속
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