터보 분자 펌프
메이커 에드워즈
모델 STP-iXA3306C
연식
외부 치수 W430 D400 H580
전시장 쓰루 테크니컬 센터
가격 가격 문의
문의 번호 NC0689
기계 사양
전원 전압 200-240V
배기 속도 N2 3200 L/S
배기 속도 Ar 2800 L/S
도달 압력 10-7Pa (10-9Torr)
허용 배압 266Pa (2Torr)
최대 가스 유량 N2 *(수냉만) 4000sccm
최대 가스 유량 Ar * (수냉 전용) 2100sccm
정격 속도 27700회전
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