기계 사양
매스 필터 방식
최소 감지 압력: 6.7x10-9Pa 이하
동작 가능 범위: 2.7x10-2Pa 이하
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매스 필터 방식
최소 감지 압력: 6.7x10-9Pa 이하
동작 가능 범위: 2.7x10-2Pa 이하
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