기계 사양
전원: 1상 100V 50/60Hz
램프 하우스: LHS-H100P-2
접안 렌즈:CFIUW10x/25
대물 렌즈: LUPlan5x/10x/20x/50x/100x
스테이지: 6×6 스테이지
스트로크：150×150mm
대응 웨이퍼:6인치
레볼버: 수동 L-DIC 부착
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기계 사양
전원: 1상 100V 50/60Hz
램프 하우스: LHS-H100P-2
접안 렌즈:CFIUW10x/25
대물 렌즈: LUPlan5x/10x/20x/50x/100x
스테이지: 6×6 스테이지
스트로크：150×150mm
대응 웨이퍼:6인치
레볼버: 수동 L-DIC 부착
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